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J-GLOBAL ID：200902277081810633   整理番号：03A0487981

硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価

Wave-optical evaluation of reflected X-ray intensity and wavefront distribution in total reflection hard X-ray by mirror optics.

著者 (9件)： 山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科研セ) ,  三村秀和 (大阪大 大学院工学研究科) ,  久保田章亀 (大阪大 大学院工学研究科) ,  金岡政彦 (大阪大 大学院工学研究科) ,  SOUVOROV A (高輝度光科学研究セ) ,  玉作賢治 (理研) ,  石川哲也 (理研) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科研セ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69  号： 7  ページ： 997-1001  発行年： 2003年07月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らはプラズマCVM(Chemical Vaporizat...

シソーラス用語： *反射鏡 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

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分類 (2件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (12件)：

• 1) T. Ishikawa, K. Tamasaku, M. Yabashi, S. Goto, Y. Tanaka, H. Yamazaki, K. Takeshita, H. Kimura, H. Ohashi, T. Matsushita, and T. Ohata: One kilometer beamline at SPring-8, Proc. SPIE, 4154(2001) 1.
• 2) J. Arthur and R. Tatchyn: Radiation Properties of Linac Coherent Light Source: Challenges for X-ray Optics, Proc. SPIE 4143 (2001) 1-8.
• 3) Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, A. Saito, H. Kishimoto, Y. Sekito, M. Kansoka, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa: Development of Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining Systems for Coherent X-ray Optics, Proc. SPIE, 4501 (2001) 30.
• 4) 森勇藏,山内和人,杉山和久,稲垣耕司,三村秀和,今井利幸:数値制御 EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発-nmオーダでの加工精度の評価-,精密工学会誌,67(2001)607.
• 5) 森勇藏,山村和也,佐野泰久:数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究(第1報)-X線ミラー加工装置の開発-,精密工学会誌,67(2001)131.

タイトルに関連する用語 (7件)： 硬X線 ,  斜入射 ,  ミラー ,  形状誤差 ,  位相分布 ,  波動 ,  光学的評価