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J-GLOBAL ID：200902277367529176   整理番号：06A0073366

Ni単結晶の(001)面およびNi非晶質合金の集束イオンビームマイクロ加工における表面の変化

Surface Evolution during Focused Ion Beam Micro-Machining in (001) Plane of Single-Crystalline Ni and Amorphous Nickel Alloy

著者 (4件)： HOSOKAWA Hiroyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  NAKAJIMA Takeshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  SHIMOJIMA Koji (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  MABUCHI Mamoru (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Materials Transactions  (Materials Transactions)
巻： 46  号： 10  ページ： 2295-2297  発行年： 2005年10月20日 
JST資料番号： G0668A  ISSN： 1345-9678  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ni単結晶の(001)面およびNi₇₅...

シソーラス用語： *ニッケル ,...

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分類 (3件)： 金属の表面構造  (BK15020P) ,  金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (13件)：

• 1) Y. Q. Fu, N. K. A. Bryan, O. N. Shing and H. N. P. Wyan: Sens. Actuators 79 (2000) 230–234.
• 2) R. Nassar, M. Vasile and W. Zhang: J. Vac. Sci. Technol. B 16 (1998) 109–115.
• 3) A. Lugstein, B. Basnar and E. Bertagnolli: J. Vac. Sci. Technol. B 20 (2002) 2238–2242.
• 4) Y. Ando and J. Ino: Wear 216 (1998) 115–122.
• 5) P. Sigmund: Phys. Rev. 184 (1969) 383–416.

タイトルに関連する用語 (5件)： Ni ,  単結晶 ,  非晶質合金 ,  集束イオンビーム ,  マイクロ加工