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J-GLOBAL ID：200902277463501509   整理番号：08A0877548

電子材料の製造・評価技術 湿式微粒化装置「スターバースト」によるナノ電子材料の微粒化

著者 (1件)： 原島謙一 (スギノマシン)
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
巻： 47  号： 9  ページ： 39-43  発行年： 2008年09月01日 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子材料などに使われる凝集力の強いナノオーダーの粒子化を実現するために,密度の高い液体を媒体とした湿式微粒化が不可欠である。湿式微粒化は,高速噴流を用いて効率よく凝集体を分散できる。しかし,分散のメカニズムは微細領域における超高圧・高圧のため,いまだ明確になっていない。本稿では,湿式微粒化装置「スターバースト」による電子部品材料の微粒化を紹介した。内容は,スターバーストの特徴,ナノ電子材料の微粒化事例(チタン酸バリウム,CMPスラリー,金属粒子の微粒化,特殊形状粒子の分散),生産機しての装置対応(生産処理量,防爆仕様対応,高圧パッキン類の耐溶剤性,遠隔自動圧力調整),受託加工,について紹介した。

シソーラス用語： *電気材料 ,  *微粒化 ,  噴流 ,  *湿式法 ,  固体素子 ,  スラリー ,  チタン酸バリウム ,  超小形回路技術 ,  粒子 ,  化学機械研磨 ,  ナノデバイス ,  金属粒子 ,  機械工作
準シソーラス用語： *電子材料 ,  *湿式プロセス ,  CMP

分類 (1件)： 導体材料  (NA04020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子材料 ,  評価 ,  微粒化装置 ,  スターバースト ,  微粒化