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J-GLOBAL ID：200902277767919607   整理番号：06A0896595

極端紫外光源用のレーザプラズマからのデブリ挙動のレーザイメージング法による測定

Behavior of debris from laser-produced plasma for extreme ultraviolet light source measured by laser imaging technique

著者 (5件)： TANAKA Hiroki (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...) ,  HASHIMOTO Yuki (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...) ,  TAMARU Kouji (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...) ,  TAKAHASHI Akihiko (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...) ,  OKADA Tatsuo (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 89  号： 18  ページ： 181109-181109-3  発行年： 2006年10月30日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 13.5μmの極端紫外線(EUV)光源用のレーザ生成プラズマ...

シソーラス用語： 真空紫外線 ,...

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分類 (1件)： プラズマ中の電磁波  (BJ02032F)

タイトルに関連する用語 (6件)： 極端紫外光源 ,  レーザプラズマ ,  デブリ ,  挙動 ,  レーザ ,  イメージング