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J-GLOBAL ID：200902277973787539   整理番号：09A0405610

微細孔シリコンを生成するためのFe(III),V(V),及びCe(IV)でのステインエッチング

Stain Etching with Fe(III), V(V), and Ce(IV) to Form Microporous Silicon

著者 (2件)： DUDLEY Margaret E. (West Chester Univ., Pennsylvania, USA) ,  KOLASINSKI Kurt W. (West Chester Univ., Pennsylvania, USA)
資料名： Electrochemical and Solid-State Letters  (Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 12  号： 4  ページ： D22-D26  発行年： 2009年 
JST資料番号： W1290A  ISSN： 1099-0062  CODEN： ESLEF6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (HF+V₂O₅)あるいは(HF+FeCl₃・6H₂O+HClあるいはH₂SO₄)の組成のステインエッチング(汚染物除去エッチング)液を用いると気泡発生がなく,多孔質体シリコンが生成される。高濃度の酸,HClあるいはH₂SO₄,を用いると誘導時間を大きく減少させることができた。Fe(III)溶液で長時間エッチングを行うとユニークな二重層構造が形成され,これは,>10μmの厚さに達して,赤~オレンジ及び緑の光ルミネセンス(PL)を示した。(CeF₄+H₂SO₄)でのエッチングでは高度に均一な膜が生成した。エッチング後すぐに可視光のPLが観察されたが,(CeF₄+H₂SO₄)でのエッチングで生成した膜は明るく強いPLになるまで数日間,空気に曝す必要があった。ステインエッチング液中での反応機構を検討し,エッチング反応と多孔度を増加させる化学反応との二つの反応が存在するとした。

シソーラス用語： *エッチング ,  エッチング液 ,  フッ化水素 ,  *酸化バナジウム ,  *塩化鉄 ,  塩化水素 ,  硫酸 ,  *ケイ素 ,  多孔質体 ,  光ルミネセンス ,  *フッ化物 ,  *セリウム化合物 ,  反応機構 ,  走査電子顕微鏡 ,  湿式法 ,  ウェットエッチング ,  *ステインエッチング ,  *フッ化セリウム
準シソーラス用語： シリコン ,  誘導時間 ,  湿式エッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細孔 ,  シリコン ,  Fe ,  Ce ,  ステインエッチング