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J-GLOBAL ID:200902278493711954   整理番号:04A0623864

ナノ構造配列を基盤とする分子ナノ工学の構築とマイクロシステムへの展開 イオン銃/超高真空高温STM複合装置(IG/STM)の開発

Establishment of molecular nano-engineering by utilizing nanostructure arrays and its development into microsystems. Development of ultrahigh vacuum high-temperature scanning tunneling microscope/ion gun combined system.
著者 (7件):
資料名:
ページ: 22-23  発行年: 2004年 
JST資料番号: N20041449  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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イオン照射によるナノ改質過程における性状変化の微視的評価とそ...
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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半導体の放射線による構造と物性の変化  ,  顕微鏡法 
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