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J-GLOBAL ID：200902278677275219   整理番号：05A0845033

Dual Cat-CVD法による平坦なPTFE膜形成法の開発

著者 (4件)： 吉田昌弘 (北陸先端科学技術大学院大) ,  杉田健 (北陸先端科学技術大学院大) ,  村田英幸 (北陸先端科学技術大学院大) ,  松村英樹 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 3  ページ： 1073  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ポリテトラフルオロエチレン ,...
準シソーラス用語： Cat-CVD

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分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

物質索引 (1件)： テトラフルオロエテン

タイトルに関連する用語 (3件)： Cat-CVD ,  PTFE膜 ,  開発