表面輪郭測定のための格子投影系

TAY Cho Jui; THAKUR Madhuri; QUAN Chenggen

文献

J-GLOBAL ID：200902278908491602 整理番号：05A0334823

表面輪郭測定のための格子投影系

Grating projection system for surface contour measurement.

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巻： 44 号： 8 ページ： 1393-1400 発行年： 2005年03月10日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

表面輪郭の測定法としてホログラフィー干渉法,モアレ法,格子投...

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測光と光検出器一般

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