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J-GLOBAL ID:200902278956155991   整理番号:05A0442958

TFT液晶パネルのESDソリューション・テクノロジー-進化し続けるTFT液晶パネルのための静電気制御・管理技術への期待-

著者 (1件):
資料名:
巻: 29  号:ページ: 110-117  発行年: 2005年04月22日 
JST資料番号: S0175A  ISSN: 0386-2550  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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TFT(薄膜トランジスタ)液晶パネル(LCD)の高精細化は静...
シソーラス用語:
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準シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (7件):
  • 仲野陽. 2003年度静電気障害防止技術シンポジウム予稿集. 2003, 75
  • 助川統. 特開昭63-220289
  • 小平寿源. 特開昭58-116573
  • 市川修. 特開昭62-65455
  • 笠間泰彦. ウルトラクリーンテクノロジー. 1994, 6, 6
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