ナノマシンにおける空気軸受けの層流化について  FANUC ROBOnano UiA

文献

J-GLOBAL ID：200902279038749265 整理番号：03A0453352

The laminarization of air bearing in the nano machine

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資料名：
巻： 16 号： 1 ページ： 1-7 発行年： 2003年05月
JST資料番号： L2934A ISSN： 0914-9406 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

超精密ナノ加工機FANUC ROBOnano UiAは,主と...

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