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J-GLOBAL ID：200902279407342662   整理番号：04A0649689

MEMS素子用の薄膜型圧電体

Thin Film Piezoelectrics for MEMS

著者 (2件)： TROLIER-MCKINSTRY S (Penn State Univ.) ,  MURALT P (Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)
資料名： Journal of Electroceramics  (Journal of Electroceramics)
巻： 12  号： 1/2  ページ： 7-17  発行年： 2004年01月 
JST資料番号： W1123A  ISSN： 1385-3449  CODEN： JOELFJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜型圧電体はMEMS(マイクロ電気機械システム)素子に有用...

シソーラス用語： *圧電体 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  薄膜 ,  圧電体