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J-GLOBAL ID：200902279513251129   整理番号：08A0070768

電子部品分野における微細加工技術~MEMS,次世代実装~MEMSの最新技術動向

著者 (1件)： 江刺正喜 (東北大 原子分子材料科学高等研究機構)
資料名： KEC情報
号： 204  ページ： 4-9  発行年： 2008年01月01日 
JST資料番号： L0572A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,代表的なMEMSについて,応用分野ごとに最新技術動...

シソーラス用語： *超小形回路技術 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (20件)：

• M. Nagao et. a!.: 2004 SAE World Congress,(2004)
• T. Murakoshi, Y. Endo, S. Nakamura and M. Esashi: Jpn. J. Appli. Phys., 42 (Part 1), 2468(2003)
• Van Kessel, P. F. Hornbeck, L. J. Meier, R. E. and Douglass, M. R.: Proc. of the IEEE, 86(8), 1687(1998)
• P. V. Loeppert et. al.: Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, Workshop, 27(2006)
• T. Tajima, T. Nishiguchi, S. Chiba, A. Morita, M. Abe, K. Tanioka, N. Saito and M. Esashi: Microelectronic Engineering, 67-68, 508(2003)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子部品 ,  微細加工技術 ,  次世代 ,  実装 ,  技術動向