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J-GLOBAL ID：200902279530324695   整理番号：05A0565014

DCマグネトロンスパッタ二酸化チタン薄膜の構造,光学とRaman散乱研究

Structural, optical and Raman scattering studies on DC magnetron sputtered titanium dioxide thin films

著者 (5件)： KARUNAGARAN B. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-476, KOR) ,  KIM Kyunghae (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-476, KOR) ,  MANGALARAJ D. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-476, KOR) ,  YI Junsin (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-476, KOR) ,  VELUMANI S. (Coordinacion de Investigacion y Desarrollo de Ductos, IMP, Eje Central Lazaro Cardenas 152, D.F., C.P.07720, MEX)
資料名： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 88  号： 2  ページ： 199-208  発行年： 2005年07月15日 
JST資料番号： D0513C  ISSN： 0927-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO₂薄膜をDCマグネトロンスパッタ...

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： DC ,  マグネトロンスパッタ ,  酸化チタン薄膜 ,  光学 ,  Raman散乱 ,  研究