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J-GLOBAL ID：200902279746738583   整理番号：08A0058178

エキシマレーザ照射したTiO₂膜の表面着色の研究

Analyses of surface coloration on TiO₂ film irradiated with excimer laser

著者 (3件)： ZHENG H.y. (Singapore Inst. of Manufacturing Technol., SGP) ,  QIAN H.x. (Precision Engineering and Nanotechnology Centre, School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang ...) ,  ZHOU W. (Precision Engineering and Nanotechnology Centre, School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 254  号： 7  ページ： 2174-2178  発行年： 2008年01月30日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ約850nmのTiO₂薄膜ソーダ石灰ガラス上にスパッタ蒸着し,単一パルスクリプトン-フッ素(KrF)エキシマレーザ(波長248nmでパルス持続時間25ns)を用いてフルエンスを変えて照射した。照射領域の色はレーザフルエンスの増加とともに黒化した。照射表面を光学顕微鏡,走査電子顕微鏡,Raman分光および原子間力顕微鏡を用いて調べた。400および590mJ/cm²の低レーザフルエンスでは,表面は熱アニーリングを受けた。1000mJ/cm²の中庸レーザフルエンスで発生した微小亀裂は,表面融解と固化の所為とされた。1100および1200mJ/cm²の高レーザフルエンスで発生したマイクロポアとネットワークの形成を説明するためには流体力学アブレーションを提案した。黒化効果は他の人々が説明しているようなアナターゼからルチルへの相転移によるものでなく,表面欠陥中への光閉込めで説明した。TiO₂膜の黒化制御は可変フィルタに適用できよう。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化チタン ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  ソーダ石灰ガラス ,  エキシマレーザ ,  *パルスレーザ照射 ,  *亀裂 ,  *レーザアブレーション ,  閉込め ,  表面欠陥 ,  着色 ,  帯域フィルタ
準シソーラス用語： チタニア ,  ガラス基板 ,  レーザフルエンス ,  *光閉込め

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： エキシマレーザ ,  TiO2 ,  着色 ,  研究