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J-GLOBAL ID：200902279766869404   整理番号：03A0275712

(100)けい素表面に円形エッチピットをシード添加するためのナノメカニカル法

Nano-Mechanical Method for Seeding Circular-Shaped Etch Pits on (100) Silicon Surface

著者 (6件)： SHIKIDA M (Nagoya Univ.) ,  KAWASAKI K (Nagoya Univ.) ,  SATO K (Nagoya Univ.) ,  ISHIHARA Y (Denso Corp.) ,  TANAKA H (Denso Corp.) ,  MATSUMURO A (Nagoya Univ.)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 15  号： 1  ページ： 21-35  発行年： 2003年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： KOHと水酸化テトラメチルアンモニウムによるエッチング過程で...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

タイトルに関連する用語 (3件)： けい素 ,  円形 ,  エッチピット