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J-GLOBAL ID:200902279966628134   整理番号:07A0666590

力顕微鏡による化学分析用の圧電アクチュエータと組合わせた共振器

Resonator combined with a piezoelectric actuator for chemical analysis by force microscopy
著者 (5件):
資料名:
巻: 78  号:ページ: 063709  発行年: 2007年06月 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ダイナミック走査力顕微鏡用の高周波シリコン共振器を大きい変位...
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分類 (3件):
分類
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顕微鏡法  ,  電気式制御機器  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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