抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
窒化センサは,炉体に直接装着できるため窒化センサシステムとして,あらゆるタイプのガス窒化・軟窒化炉に適用できる。窒化センサ制御システムは分析応答速度が速く,ノーメンテナンスで,精度と再現性に優れ,使用ガス量を削減でき,窒化センサ値の管理で品質保証ができ,目的の相組成の窒化層を形成できる。処理品表面積の大小のものをピット型ガス軟窒化炉にて窒化処理した場合,窒化ポテンシャル制御をしない場合,表面積が多いと化合物層が薄くなるが,窒化ポテンシャル制御を行うと,化合物層厚さにほとんど差がない。バッチ型ガス軟窒化炉で,窒化初期は窒化ポテンシャルを高くし,後期には低くしてアンモニアガス量とトータル使用ガス量を削減できた。加熱室に金属レトルトを使用し,真空パージ室を備えたレトルト型多目的炉は,窒化センサによる窒化ポテンシャルの制御性に優れ,目的の相組成の窒化層を形成できる。