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J-GLOBAL ID:200902280024953003   整理番号:09A0486022

窒化ポテンシャル制御システム付きガス軟窒化炉

著者 (1件):
資料名:
巻: 49  号:ページ: 64-68  発行年: 2009年04月28日 
JST資料番号: G0963A  ISSN: 0288-0490  CODEN: NESHDF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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窒化センサは,炉体に直接装着できるため窒化センサシステムとして,あらゆるタイプのガス窒化・軟窒化炉に適用できる。窒化センサ制御システムは分析応答速度が速く,ノーメンテナンスで,精度と再現性に優れ,使用ガス量を削減でき,窒化センサ値の管理で品質保証ができ,目的の相組成の窒化層を形成できる。処理品表面積の大小のものをピット型ガス軟窒化炉にて窒化処理した場合,窒化ポテンシャル制御をしない場合,表面積が多いと化合物層が薄くなるが,窒化ポテンシャル制御を行うと,化合物層厚さにほとんど差がない。バッチ型ガス軟窒化炉で,窒化初期は窒化ポテンシャルを高くし,後期には低くしてアンモニアガス量とトータル使用ガス量を削減できた。加熱室に金属レトルトを使用し,真空パージ室を備えたレトルト型多目的炉は,窒化センサによる窒化ポテンシャルの制御性に優れ,目的の相組成の窒化層を形成できる。
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分類 (1件):
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熱処理設備 
引用文献 (4件):
タイトルに関連する用語 (4件):
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