抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では,定在波型交流電界を利用して,気相中に分散した帯電粒子を壁に沈着させることなく,測定セルの投入位置まで運ぶ粒子サンプリング装置の開発を目的として,必要な基礎データーを取得する。本サンプリング法と実際の計測システムとの適合性を検証するため,帯電量分布測定装置と組み合わせて実験を行った結果,以下の結論が得られた。交流電圧と周波数が小さいとき,帯電微粒子は交流印加電極に沈着するが,電圧および周波数を大きくすると,交流印加電極およびその周辺を含めたすべての表面において粒子の沈着を防止できる。交流電界を印加すると,帯電微粒子は傾斜壁の表面から1mm程度離れたところを振動しながら壁に近づくことなく斜め下方に移動する。二つのFPC基板が接近する下部開口部は,帯電微粒子を測定セルに導入する重要な部分であり,多くの粒子は,振動しながら間隙の中央を鉛直下方に通過するが,間隙部に保持される粒子も存在する。下部開口部における粒子の振幅は,印加電圧を上げるほど,また周波数を小さくするほど大きくなる。本サンプリング装置を帯電量分布測定装置と組み合わせて実験を行った結果,強く帯電した微粒子を壁に選択的に付着させることなく測定セルに導入して,帯電量分布を測定することができた。