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J-GLOBAL ID：200902282159721431   整理番号：09A0689732

遅速性と励起の異方性を用いた基板上SAW素子の導波のシミュレーション

Simulation of Waveguiding in SAW Devices on Substrates with Anisotropic Slowness and Excitation

著者 (4件)： MAYER Markus (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  BERGMANN Andreas (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  KOVACS Guenter (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  WAGNER Karl (EPCOS AG, Munich, DEU)
資料名： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 2008 Vol.2  ページ： 803-806  発行年： 2008年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遅速性と励起の強異方性を示すYZカットLiNbO₃などの表面弾性波(SAW)基板を解明するために,2次元(2D)Pマトリクスシミュレーション方法を拡張した。遅速性曲線の放物線近似は一般に有効でなく,その代わりに,圧電半空間の基本波動方程式から得られる遅速性の正確な形体を用いる必要がある。放物線近似のみのスカラーポテンシャル方法の範囲内では,一組の直交モードが生じることがわかった。非直交の場合の結果はエネルギー保存則を少し侵害した。これにも係らず,YZカットLiNbO₃上長形薄型共振器の場合,測定と非常に良く一致した。その異方性を考慮した場合においては,放物線近似は不充分であった。YZカットLiNbO₃基板上超狭幅共振器例を用いて,遅速性と結合の異方性を考慮した導波のシミュレーション方法を検証した。遅速性の異方性はシミュレーション品質の主な改善に寄与するが,結合の異方性効果を加えることにより,遅速性の異方性のみを考慮した場合よりさらに改善することができることを示した。

シソーラス用語： *弾性表面波素子 ,  *導波路 ,  *シミュレーション ,  結晶方位 ,  ニオブ酸リチウム ,  方程式 ,  SAWフィルタ ,  回折 ,  励起 ,  遅れ ,  *異方性 ,  基板
準シソーラス用語： YZカット ,  放物線方程式

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  導波管,同軸線路  (NC04040N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 励起 ,  異方性 ,  SAW素子 ,  導波 ,  シミュレーション