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J-GLOBAL ID：200902282538161478   整理番号：04A0849197

マイクロ波表面波プラズマCVDで作製したダイヤモンド状炭素薄膜の光電特性へのよう素添加効果

Effects of iodine doping on optoelectronic properties of diamond-like carbon thin films deposited by microwave surface wave plasma CVD

著者 (5件)： OMER A M M (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  ADHIKARI S (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  ADHIKARY S (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  UCHIDA H (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  UMENO M (Chubu Univ., Kasugai, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 13  号： 11/12  ページ： 2136-2139  発行年： 2004年11月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記によりSi基板と石英基板に100°C以下で作製したDLC膜...

シソーラス用語： 表面波 ,...
準シソーラス用語： 橋架け化合物 ,...

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分類 (1件)： 光伝導,光起電力  (BM03050J)

物質索引 (3件)： メタン ,  しょうのう ,  エタノール

タイトルに関連する用語 (9件)： マイクロ波 ,  表面波プラズマ ,  CVD ,  作製 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜 ,  光電特性 ,  よう素 ,  添加効果