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J-GLOBAL ID：200902282631046131   整理番号：04A0906491

EBSP法の基礎原理と活用法(II)

著者 (1件)： 鈴木清一 (テクセムラボラトリーズ・インク)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 39  号： 3  ページ： 180-184  発行年： 2004年11月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： EBSP(電子後方散乱回折パターン)法の基礎原理を説明した前...

シソーラス用語： *後方散乱 ,...
準シソーラス用語： 粒径分布

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分類 (1件)： 電子回折法  (BK01030T)

引用文献 (6件)：

• NELSON, T. W. First International Symposium on Friction Stir Welding, 1999. 1999, 1
• SATO, Y. S. Metallugical and Materials Transactions A. 2001, 32A, 941
• LIU, L. Materials Transactions. 2004, 45, 288
• 新宮原正三編集. Cu 配線技術の最新の展開. 1999
• 工藤修一. EBSPを用いためっき Cu 薄膜のプロセス評価. LSIテスティングシンポジウム会議録, 2003. 2003, 101

タイトルに関連する用語 (4件)： EBSP法 ,  基礎 ,  原理 ,  活用法