NYBERG T. について
Uppsala Univ., Uppsala, SWE について
BERG S. について
Uppsala Univ., Uppsala, SWE について
HELMERSSON U. について
Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE について
HARTIG K. について
Cardinal CG, Wisconsin について
Applied Physics Letters について
反応性スパッタリング について
圧力依存性 について
薄膜成長技術・装置 について
反応性スパッタリング について
プロセス について
ヒステリシス効果 について