高温高周波スパタリングで成長したZnO発光ダイオードからのUVエレクトロルミネセント発光

LIM Jae-Hong; KANG Chang-Ku; KIM Kyoung-Kook; PARK Il-Kyu; HWANG Dae-Kue; PARK Seong-Ju

文献

J-GLOBAL ID：200902284237799461 整理番号：06A0947088

高温高周波スパタリングで成長したZnO発光ダイオードからのUVエレクトロルミネセント発光

UV Electroluminescence Emission from ZnO Light-Emitting Diodes Grown by High-Temperature Radiofrequency Sputtering

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資料名：
巻： 18 号： 20 ページ： 2720-2724 発行年： 2006年10月17日
JST資料番号： W0001A ISSN： 0935-9648 CODEN： ADVMEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

高温(~900°C)高周波スパッタリングでエピタキシャル成長し...

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発光素子 , 酸化物薄膜

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