文献

J-GLOBAL ID：200902284726937060   整理番号：06A0931997

砥粒内包研磨パッドの開発(3)

著者 (2件)： 佐藤誠 (ノリタケカンパニーリミテド) ,  奥田和弘 (ノリタケカンパニーリミテド)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2006  号： 春季(CD-ROM)  ページ： G81  発行年： 2006年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 砥粒 ,  内包 ,  研磨パッド ,  開発