AlGaN/GaN膜のファセット制御成長におけるミスフィット転位の生成

CHERNS D; SAHONTA S-L; LIU R; PONCE F A; AMANO H; AKASAKI I

文献

J-GLOBAL ID：200902285208246255 整理番号：04A0907028

AlGaN/GaN膜のファセット制御成長におけるミスフィット転位の生成

The generation of misfit dislocations in facet-controlled growth of AlGaN/GaN films

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資料名：
巻： 85 号： 21 ページ： 4923-4925 発行年： 2004年11月22日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

GaN/(0001)サファイア上にファセット制御エピタキシャ...

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半導体薄膜

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