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J-GLOBAL ID：200902285386301480   整理番号：03A0365288

反応性DCマグネトリンスパッタ蒸着した酸化銀薄膜の電気及び光学特性 酸素の役割

Electrical and optical properties of reactive DC magnetron sputtered silver oxide thin films: role of oxygen

著者 (4件)： BARIK U K (Indian Inst. Technol., Chennai, IND) ,  SRINIVASAN S (Indian Inst. Technol., Chennai, IND) ,  NAGENDRA C L (Indian Space Res. Organization (ISRO), Bangalore, IND) ,  SUBRAHMANYAM A (Indian Inst. Technol., Chennai, IND)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 429  号： 1/2  ページ： 129-134  発行年： 2003年04月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化銀薄膜を純銀ターゲットを用いた反応性DCマグネトリンスパ...

シソーラス用語： *酸化銀 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (8件)： 反応性 ,  DC ,  蒸着 ,  酸化 ,  銀薄膜 ,  光学特性 ,  酸素 ,  役割