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J-GLOBAL ID:200902285563639551   整理番号:07A1108707

FFU回転数制御によるクリーンルームの局所環境に関する研究(第2報)CFDによる気流性状と汚染質性状の評価

著者 (4件):
資料名:
巻: 2007  号:ページ: 1415-1418  発行年: 2007年08月24日 
JST資料番号: F0023B  ISSN: 1880-3806  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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クリーンルームのファンフィルタユニット(FFU)を回転数制御...
シソーラス用語:
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準シソーラス用語:
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分類 (1件):
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空気浄化 

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