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J-GLOBAL ID：200902285877852519   整理番号：04A0411119

微細加工技術 微細3次元加工技術の動向とその展開

著者 (1件)： 服部正 (兵庫県立大 高度産業科学技術研究所)
資料名： 日本設備管理学会誌  (Journal of the Society of Plant Engineers Japan)
巻： 16  号： 1  ページ： 1-7  発行年： 2004年05月31日 
JST資料番号： L3298A  ISSN： 0915-5023  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 情報機器,バイオ・医療分野などから要求の強いマイクロシステム...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： 橋架け ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細加工技術 ,  微細 ,  3次元加工 ,  動向 ,  展開