MEMSを用いた可変マイクロレンズシステム

KROGMANN F; MOENCH W; ZAPPE H

文献

J-GLOBAL ID：200902286090931019 整理番号：06A0634607

MEMSを用いた可変マイクロレンズシステム

A MEMS-based variable micro-lens system

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資料名：
巻： 8 号： 7 ページ： S330-S336 発行年： 2006年07月
JST資料番号： D0538C ISSN： 1464-4258 CODEN： JOAOF8 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

0~45Vの電圧で2.3mmから無限大の後方焦点距離に可変同...

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光学器械要素とその材料 , 固体デバイス製造技術一般

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