正弦波位相変調レーザダイオード干渉計を用いた二次元回転角測定

文献

J-GLOBAL ID：200902286135328092 整理番号：03A0328619

Two-dimensional rotation angle measurement using a sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer

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巻： 42 号： 4 ページ： 1132-1136 発行年： 2003年04月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Twyman-Green半導体レーザ干渉計を用いた小さい二次...

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干渉測定と干渉計

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