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J-GLOBAL ID：200902286341746240   整理番号：03A0584186

表面エンコーダ用の大面積正弦波格子面の精密ナノ製作と評価

Precision nano-fabrication and evaluation of a large area sinusoidal grid surface for a surface encoder

著者 (5件)： GAO W (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ARAKI T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KIYONO S (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OKAZAKI Y (AIST, Tsukuba, JPN) ,  YAMANAKA M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 27  号： 3  ページ： 289-298  発行年： 2003年07月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 精密級XYテーブル用の表面エンコーダの測定基準として用いられ...

シソーラス用語： 超精密加工 ,...
準シソーラス用語： エンコーダ ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： エンコーダ ,  大面積 ,  正弦波 ,  精密 ,  製作 ,  評価