薄膜と基材の間の界面に沿った破壊力学実験のための予亀裂手法

文献

J-GLOBAL ID：200902286460724190 整理番号：05A0515393

Pre-cracking technique for fracture mechanics experiments along interface between thin film and substrate

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巻： 72 号： 12 ページ： 1892-1904 発行年： 2005年05月20日
JST資料番号： A0119A ISSN： 0013-7944 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

薄膜加工プロセスに起因する界面強度における相違を利用して,薄...

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固体デバイス製造技術一般

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