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J-GLOBAL ID：200902286507007522   整理番号：09A1243778

フェムト秒レーザパルスによるシリコン照射時のレーザ誘起周期的表面構造の形成における表面プラズモンポラリトンの役割

On the role of surface plasmon polaritons in the formation of laser-induced periodic surface structures upon irradiation of silicon by femtosecond-laser pulses

著者 (3件)： BONSE Joern (BAM Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung, Fachgruppe VI.4 Oberflaechentechnologien, Unter den Eichen ...) ,  ROSENFELD Arkadi (Max-Born-Institut fuer Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie (MBI), Max-Born-Strasse 2a, D-12489 Berlin, DEU) ,  KRUEGER Joerg (BAM Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung, Fachgruppe VI.4 Oberflaechentechnologien, Unter den Eichen ...)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 106  号： 10  ページ： 104910  発行年： 2009年11月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気中で単一または多重フェムト秒レーザパルス(パルス幅τ=130fsで中心波長λ=800nm)で照射した単結晶シリコン上での近波長サイズのレーザ誘起周期的表面構造(LIPSS)の形成を実験的および理論的に調べた。著者らの理論的アプローチでは,高密度電子-正孔プラズマの励起による材料の光学的性質の過渡パルス内変化を説明するために,一般的に受入れられているSipeと共同研究者による第一原理理論をDrudeのモデルと結び付けることによって,LIPSS形成をモデル化した。得られた結果はレーザ波長よりいくらか小さいLIPSSの空間的周期,LIPSSのレーザビーム偏極に垂直な配向およびLIPSSの特性照射線量依存性を定量的に説明することができる。さらに,フェムト秒レーザ照射シリコンの近波長サイズ周期的表面構造の初期段階では表面プラズモンポラリトンが重要な役割を演じるという証拠を示し,単一フェムト秒パルス照射を用いることによってシリコンの場合にはこれらのLIPSSの形成ができることを実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  半導体 ,  *パルスレーザ照射 ,  *表面構造 ,  *周期構造 ,  表面プラズモン ,  *表面ポラリトン ,  モデリング ,  配向 ,  依存性 ,  フェムト秒
準シソーラス用語： 照射線量依存性

分類 (3件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  半導体の表面構造  (BK15030A) ,  ポラリトン  (BM02140A)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザパルス ,  シリコン ,  レーザ誘起 ,  表面構造 ,  表面プラズモンポラリトン ,  役割