文献

J-GLOBAL ID：200902286639099051   整理番号：07A0833075

パーマロイ薄膜の機械的性質の測定方法

A Method for Measuring Mechanical Properties of Permalloy Thin Films

著者 (5件)： Li Xueping (National Key Lab of Nano/Micro Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro fabrication Technol. of ...) ,  Ding Guipu (National Key Lab of Nano/Micro Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro fabrication Technol. of ...) ,  ANDO Taeko (Dept of Micra-Nuno Systems Engineering, Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SHIKIDA Mitsuhiro (Dept of Micra-Nuno Systems Engineering, Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SATO Kazuo (Dept of Micra-Nuno Systems Engineering, Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 19  号： 5A  ページ： 1595-1598  発行年： 2006年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： パーマロイ(Ni_(80)Fe_(20))薄膜は,MEMSに対する磁性材料の一つである。この材料の機械的性質の測定法に対する一軸引張試験を紹介した。その特徴付けは,両端固定試料と基材への統合荷重機構であり,したがって,試料の取り扱いと位置合わせの不具合を除去出来る。そのオンチップデバイスは,ウェットエッチングで微細加工され,パーマロイ引張り試料はリソグラフと電気めっき加工で形成される。実験は,この方法を使うことは,パーマロイ薄膜試料の引張試験を簡単に正確に実施でき,それらの機械的性質を得ることが出来ることを示した。最後に,この方法はMEMSデバイスを設計し解析するための信頼できるパラメータを提供できる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *パーマロイ ,  *薄膜 ,  *機械的性質 ,  計測 ,  *超小形回路技術 ,  磁性材料 ,  引張試験 ,  統合 ,  荷重 ,  エッチング ,  微細加工 ,  リソグラフィー ,  電気めっき ,  MEMS ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *測定方法

分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (4件)： パーマロイ ,  薄膜 ,  機械的性質 ,  測定方法