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J-GLOBAL ID：200902286773591442   整理番号：08A0524618

ミストCVD法の薄膜作製におけるファインチャネルおよび衝突混合の効果

The Effect of Fine Channel & Collisional Mixing on Mist CVD Method

著者 (3件)： 川原村敏幸 (京都大学大学院工学研究科電子工学専攻) ,  西中浩之 (京都大学大学院工学研究科電子工学専攻) ,  藤田静雄 (京都大学大学院工学研究科)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 57  号： 5  ページ： 481-487 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ミストCVD法を大面積基板への成膜に対応させるため改良したFine Channel Mist(FCM-)CVD法を開発した。このFine Channelの効果をZnO透明導電膜作製を通して,実験的,理論的,シミュレーションの点から検討した。原料は酢酸亜鉛の水溶液を用い,超音波振動子を用いて単分散液状微粒子を作製した。FCにおける原料ガスの衝突混合による整流効果を調べるために整流装置を考案し,シミュレーションを行った。混合流の有効性の検証のために,一方向からの流入による膜の付き方,二方向からの流入(混合流)による膜の付き方を調べ均質膜作製のポイントを得た。100mm角ガラス基板に対して40mm角の大面積均質ZnO透明導電膜を作製できた。

シソーラス用語： *ミスト ,  *化学蒸着 ,  *薄膜成長 ,  酸化亜鉛 ,  透明導電膜 ,  水溶液 ,  整流 ,  整流器 ,  超音波振動

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛

引用文献 (29件)：

• 1) F. Streintz, “Ueber die elektrische Leitfahigkeit von gepressten Pulvern”, Annalen der Physik, Vol.314, pp.854 -885 (1902).
• 2) K. Badeker, “Uber die elektrische Leitfahigkeit und die thermoelektrische Kraft einiger Schwermetallverbindungen” Annalen der Physik, Vol.327, pp.749-766 (1907).
• 3) R. B. H. Tahar, T. Ban, Y. Ohya and Y. Takahashi, “Tin doped indium oxide thin films : Electrical properties”, Journal of Applied Physics Vol.83, No.5, pp.2631-2645 (1998).
• 4) E. B. Ali, H. E. Maliki, J. C. Bernede, M. Sahnoun, A. Khelil and O. Saadane, “In₂O₃ deposited by reactive evaporation of indium in oxygen atmosphere-influence of post-annealing treatment on optical and electrical properties”, Materials Chemistry and Physics Vol.73, pp.78-85 (2002).
• 5) T. Minami, Y. Takeda, S. Takata and T. Kakumu, “Preparation of transparent conducting In₄Sn₃O₁₂ thin films by DC magnetron sputtering”, Thin Solid Films, Vol.308-309, pp.13-18 (1997).

タイトルに関連する用語 (3件)： ミストCVD法 ,  薄膜作製 ,  衝突