文献

J-GLOBAL ID：200902286965811489   整理番号：08A0875258

超高感度応力検出のための圧電ナノカンチレバーの製作

Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection

著者 (3件)： JIANG Y G (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ONO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 19  号： 8  ページ： 084011,1-5  発行年： 2008年08月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノカンチレバーはマイクロカンチレバーに比べ高い応力感度をもつことは理論的かつ実験的に明らかにされているが,圧電ナノカンチレバーを作る際に厚さ方向にドーパントが拡散するのを防ぐのが難しい。ここでは高速熱アニールするスピンオンドーピング法によってSiカンチレバのホウ素拡散層を40nm以下に抑える方法によって,ナノカンチレバーを製作する方法の詳細と実験による評価結果を報告する。電子ビーム(EB)リソグラフィー,高速原子ビーム(FAB)エッチング,深いRIE,および臨界点ドライプロセス等を用いて,実際に100nm厚で2.5μmから20μmの長さをもつ圧電カンチレバーを設計製作した。

シソーラス用語： 高感度 ,  *応力測定 ,  *圧電気 ,  *片持梁 ,  ドーパント ,  固体内拡散 ,  ケイ素 ,  ホウ素 ,  ナノ構造 ,  電子ビームリソグラフィー ,  原子ビーム ,  ドライエッチング ,  RIE【エッチング】 ,  *計測 ,  ビーム
準シソーラス用語： カンチレバー ,  ナノカンチレバ

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高感度 ,  応力 ,  圧電 ,  ナノカンチレバー ,  製作