PVP支援のゾル-ゲル堆積による厚みがサブミクロン又はミクロン以上の単層強誘電体薄膜

文献

J-GLOBAL ID：200902286966970700 整理番号：04A0164658

PVP-assisted sol-gel deposition of single layer ferroelectric thin films over submicron or micron in thickness

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資料名：
巻： 24 号： 6 ページ： 1585-1588 発行年： 2004年
JST資料番号： E0801B ISSN： 0955-2219 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

Pt/Ti/SiO₂/Si基板上にポリ...

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 酸化物薄膜

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