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J-GLOBAL ID：200902287155861311   整理番号：06A0828310

Co₃Pt磁気ナノドットアレイのイオンビープエッチング

Ion beam etching of Co₃Pt magnetic nano dot array

著者 (5件)： LEE D. H. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  LIM T. W. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  JEONG G. H. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  SUH S. J. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  YOON S. Y. (Samsung Advanced Inst. Technol., Yongin, KOR)
資料名： Proceedings of International Symposium on Dry Process  (Proceedings of International Symposium on Dry Process)
巻： 5th  ページ： 67-68  発行年： 2005年 
JST資料番号： Y0378B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *磁気ディスク ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 磁気 ,  ナノドットアレイ