SAWADA T. について
Akita Study Center, The Univ. of the Air, Akita 010-8502, JPN について
YABUKI M. について
Dep. of Mechanical Engineering, Tsuruoka National Coll. of Technol., Tsuruoka 997-8511, JPN について
SUGIYAMA W. について
Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering and Resource Sci., Akita Univ., Akita 010-8502, JPN について
WATANABE M. について
Engineering Div., Hachi-ohji Factory, Osaka Vacuum Ltd., Hachi-ohji 193-0942, JPN について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
分子ポンプ について
ターボ分子ポンプ について
真空技術 について
ターボ分子ポンプ について
ポンピング について
ブレード について
表面ラフネス について