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J-GLOBAL ID：200902288010921320   整理番号：03A0856269

微細砥粒を用いたウェットブラスティングによる金属のパターニング

著者 (2件)： 高田健央 (弘前大 大学院) ,  牧野英司 (弘前大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2003  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： 413  発行年： 2003年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 微細加工 ,...
準シソーラス用語： サスペンション

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 微細砥粒 ,  パターニング