InP上に堆積したエピタキシャルY安定化ZrO<sub>2</sub>薄膜の成長動力学

VASCO E; ZALDO C

文献

J-GLOBAL ID：200902288129433430 整理番号：04A0907670

InP上に堆積したエピタキシャルY安定化ZrO₂薄膜の成長動力学

Growth kinetics of epitaxial Y-stabilized ZrO₂ films deposited on InP

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巻： 16 号： 46 ページ： 8201-8211 発行年： 2004年11月24日
JST資料番号： B0914B ISSN： 0953-8984 CODEN： JCOMEL 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

Y安定化ZrO₂(YSZ)薄膜は,YB...

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酸化物薄膜

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InP上に堆積したエピタキシャルY安定化ZrO2薄膜の成長動力学

InP上に堆積したエピタキシャルY安定化ZrO₂薄膜の成長動力学