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J-GLOBAL ID：200902288476969340   整理番号：09A0809173

周波数変化力センサの感度の有限要素解析

Finite Element Analysis of Sensitivity of Frequency-Change Force Sensor

著者 (3件)： SUGAWARA Sumio (Ishinomaki Senshu Univ., Miyagi, JPN) ,  YAMAKAWA Masaki (Ishinomaki Senshu Univ., Miyagi, JPN) ,  KUDO Subaru (Ishinomaki Senshu Univ., Miyagi, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 7,Issue 2  ページ： 07GF04.1-07GF04.5  発行年： 2009年07月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の周波数変化力センサの特性を有限要素法を用いて解析し比較した。センサ設計の場合,センサ両端の変位はできるだけ小さくして固定の影響を低下させ,センサの共振周波数は軸方向力により大きく変化させて高感度を実現すべきである。変位u_i(i=x,y,z)をセンサの長腕中心における最大変位u_i0に対する比u_i/u_i0の関数として解析し,比u_i/u_i0(<10^-3)を持つセンサ構造を明らかにした。また,共振周波数f₀の軸方向力による変化Δf₀を解析した。微小電子機械システム(MEMS)センサとして適する平坦で単純な構造の力センサは,高感度で小変位の立場から最良であることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *センサ ,  有限要素法 ,  変位 ,  共振周波数 ,  *MEMS ,  周波数依存性 ,  振動モード
準シソーラス用語： *力センサ ,  *有限要素解析

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (9件)：

• S. Sugawara, J. Takahashi, and Y. Tomikawa: Jpn. J. Appl. Phys.41(2002)3433.
• L. Weisbond: US Patent 4, 479, 385(1984).
• T. Koitabashi, S. Kudoh, S. Okada, and Y. Tomikawa: Jpn. J. Appl. Phys.41(2002)3403.
• J. Takahashi, S. Sugawara, and J. Terada: Jpn. J. Appl. Phys.42(2003)3124.
• J. Takahashi and S. Sugawara: Jpn. J. Appl. Phys.43(2004)3035.

タイトルに関連する用語 (4件)： 周波数変化 ,  力センサ ,  感度 ,  有限要素解析