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J-GLOBAL ID：200902288487466056   整理番号：09A0602070

固定相として単層で保護された金によるμGCマルチ毛細管カラム

μGC MULTICAPILLARY COLUMNS WITH MONO-LAYER PROTECTED GOLD AS A STATIONARY PHASE

著者 (2件)： ZAREIAN-JAHROMI M. A. (Virginia Tech, Virginia, USA) ,  AGAH M. (Virginia Tech, Virginia, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 22nd Vol.1  ページ： 288-291  発行年： 2009年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GCシステムにおいては,分離,分析される混合物は固定相と見るポリマーでコーティングされたカラムに蒸着され注入される。本文では今日までに最高の効率と分離性能が報告されている非常に狭い単一毛細管とマルチ毛細管(MCC)微細加工ガスクロマトグラフィー(μGC)のためのMEMSをベースとした固定相コーティング技術について記述した。従来のコーティング法は,主として高分子溶液の溶媒蒸発によるものであった。これらの方法では長方形形状のμGCカラムを高アスペクト比構造にコーティングすることはできなかった。提案したウェハレベルのコーティング手法はMEMSとナノテクノロジーを融合してこの問題にチャレンジした。

シソーラス用語： 性能 ,  *毛管カラム ,  *微細加工 ,  *固定相 ,  単一層 ,  *MEMS ,  *石英ガラス ,  電気めっき ,  *金めっき ,  パターン形成 ,  安定化 ,  アスペクト比 ,  *ガスクロマトグラフィー ,  ウエハ【IC】 ,  半導体材料 ,  高分子溶液 ,  溶媒 ,  蒸発 ,  分離性能 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： 単層

分類 (1件)： ガスクロマトグラフィー  (CC04013U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 固定相 ,  単層 ,  金 ,  GC ,  マルチ ,  毛細管カラム