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J-GLOBAL ID：200902289019025480   整理番号：09A0097828

単一モードキャビティー中のナノ結晶Au薄膜のマイクロ波加熱挙動

Microwave heating behavior of nanocrystalline Au thin films in single-mode cavity

著者 (3件)： CAO Ziping (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YOSHIKAWA Noboru (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TANIGUCHI Shoji (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 24  号： 1  ページ： 268-273  発行年： 2009年01月 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールの金属の薄膜の結晶粒径は,マイクロ波の周波数での金属のスキンの厚さよりはるかに小さい。そのため,この種の薄膜をマイクロ波で加熱した場合の機構は,通常の金属粉末の場合と異なる可能性がある。この問題の理解のために,Auの薄膜を石英基材の表面に,45,133,407nmの厚さにイオンビームスパッタリングで析出し,単一モードのマイクロ波キャビティーの中の,E場およびH場が最大になる場所に設置して加熱を行い,試料の温度の経時変化を測定すると共に,加熱した試料のモルホロジーやXRDの観察・測定を行った。加熱はE場よりH場で効率よく行われた。理論に反して,厚い試料の方が高い温度に加熱されたが,これは基材の影響である可能性がある。温度の経時変化にピークが現れたが,これは組織の変化に関係した現象である。

シソーラス用語： *金 ,  *ナノ結晶 ,  *薄膜 ,  蒸着膜 ,  *マイクロ波加熱 ,  スパッタ蒸着 ,  イオンビームスパッタリング ,  石英 ,  温度変動 ,  温度分布 ,  相変態 ,  モルフォロジー ,  空洞

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 単一モード ,  キャビティー ,  ナノ結晶 ,  Au ,  薄膜 ,  マイクロ波加熱 ,  挙動