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J-GLOBAL ID:200902289120573030   整理番号:09A0047938

SAWセンサー用途のLiNbO3基板上の自然単相一方向変換器

Natural Single-Phase Unidirectional Transducers on a LiNbO3 Substrate for SAW Sensor Applications
著者 (1件):
資料名:
巻: 2008 Vol.1  ページ: 152-155  発行年: 2008年 
JST資料番号: C0958A  ISSN: 1075-6787  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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LiNbO3上の自然単相一方向変換器(natural single-phase unidirectional transducer, NSPUDT)は,電極形状が対称でも指向性を生じるので,構造が簡単で,電極幅が広く,高周波SAWセンサー用として優れている。128°LiNbO3基板上のNSPUDT方位を,モード結合理論と摂動理論に基づいて解析した。アルミと銅の電極について,Euler角度(0°, 38°, Ψ)カット上に,Ψ=20°の有用な方位を見出した。銅は薄くても大きな反射係数を与える。銅電極変換器の方向はアルミ電極変換器のそれと反対であり,低透過損失センサーシステムが可能となることが分かった。
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分類 (1件):
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弾性表面波デバイス 
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