抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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高品質光学薄膜量産用装置について概観し,その中でも光学薄膜用スパッタリング装置の量産安定性について最近の進展について述べた。また,光学薄膜製品の付加価値向上のため,光学機能に追加する性能として,硬質性能,親水性能および樹脂基板への成膜について,最近のトピックスを紹介した。はじめに,高品質光学薄膜量産用装置としてのRAS(Radical Assisted Sputtering)装置の概要を示した。RAS法の特徴は,成膜と酸化のプロセスを空間的・時間的に分けることで,高速かつ安定な成膜レートで光学薄膜を成膜できることにある。