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J-GLOBAL ID：200902289756211171   整理番号：08A0790357

近吸収端X線吸収微細構造研究と組合せたすれすれ入射X線蛍光による深く埋めたTiO_xナノ層のスペシエーション

Speciation of deeply buried TiO_x nanolayers with grazing-incidence x-ray fluorescence combined with a near-edge x-ray absorption fine-structure investigation

著者 (5件)： POLLAKOWSKI Beatrix (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU) ,  BECKHOFF Burkhard (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU) ,  REINHARDT Falk (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU) ,  BRAUN Stefan (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  GAWLITZA Peter (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU)
資料名： Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics  (Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻： 77  号： 23  ページ： 235408.1-235408.11  発行年： 2008年06月 
JST資料番号： D0746A  ISSN： 1098-0121  CODEN： PRBMDO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： すれすれ入射X線蛍光と近吸収端X線吸収微細構造研究(GIXRF-NEXAFS)により,埋めたナノ層の深さ分解した分析を行い,化学種の同定と層組成の決定が可能か調べた。入射角を変化すると,侵入深さは数ナノメートルから数百ナノメートルまで調整できた。放出される蛍光線の情報深さは軟X線領域と同じ領域になった。公称30nm厚のチタンナノ層を様々な程度酸化し,5nm炭素層の下に埋込んで測定を行った。この層状構造はイオンビームスパッタ蒸着で作成した。一定の入射角で行った測定結果を分析したが,安定な侵入深さが保障されるNEXAFS領域の入射角は見出せないことが分った。しかし適切な角度補正を行えば,一定の平均侵入深さが吸収端近くで得られることが分った。

シソーラス用語： *酸化チタン ,  *チタン ,  イオンビームスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  炭素 ,  超薄膜 ,  金属薄膜 ,  多層膜 ,  すれすれ入射 ,  X線スペクトル ,  蛍光スペクトル ,  入射角 ,  侵入度 ,  *蛍光X線分析 ,  化学組成 ,  XANES ,  元素形態
準シソーラス用語： *NEXAFS ,  元素スペシエーション

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： 吸収端X線吸収 ,  微細構造 ,  研究 ,  すれすれ入射 ,  X線 ,  蛍光 ,  TiOx ,  ナノ層 ,  スペシエーション