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J-GLOBAL ID:200902289790277360   整理番号:09A0696244

結晶シリコン太陽電池のエレクトロルミネセンスを用いた写真診断

Photographic diagnosis of crystalline silicon solar cells utilizing electroluminescence
著者 (2件):
資料名:
巻: 96  号:ページ: 189-196  発行年: 2009年07月 
JST資料番号: D0256C  ISSN: 0947-8396  CODEN: APHYCC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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シリコン太陽電池の順バイアス時のエレクトロルミネセンス(EL)の写真による検査は,材料特性だけでなくプロセス誘起欠陥の可視化が可能な有効なツールである。順バイアス下では,太陽電池から1000~1200nm付近の赤外光が放出され,その強度にベース層少数キャリアの数が反映される。この結果,少数キャリア拡散距離,表面における再結合速度,ウエハ破損及び電極損傷などのキャリア密度に影響を及ぼす全ての要因が検出できる。EL強度分布のイメージは冷却CCDカメラによって撮像し,グレイスケール表示されるが,欠陥の種類の区別が困難である。固有欠陥は一般に外的欠陥よりも温度に敏感であり,太陽電池の温度変化によってEL強度コントラストに差が現れる。測定温度へのこの効果を利用して,結晶Si太陽電池の欠陥タイプの分類が可能である。
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性  ,  太陽電池  ,  半導体のルミネセンス 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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