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J-GLOBAL ID:200902290193864651 整理番号:06A0052549
超低ガス放出残留ガス分析計
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資料名:
真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)
真空 について
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巻:
48
号:
12
ページ:
633-636
発行年:
2005年12月20日
JST資料番号:
G0194A
ISSN:
0559-8516
CODEN:
SHINA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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抄録/ポイント
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残留ガス分析計(RGA)は真空容器内のガス成分を分析する計測...
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残留ガス分析計
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分類 (2件):
分類
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引用文献 (5件):
WATANABE, F. J. Vac. Sci. Technol., A. 1990, 8, 3890
WATANABE, F. J. Vac. Sci. Technol., A. 1995, 13, 497
WATANABE, F. J. Vac. Sci. Technol., A. 2002, 20, 1222
WATANABE, F. J. Vac. Sci. Technol., A. 2004, 22, 181
WATANABE, F. J. Vac. Sci. Technol., A. 2004, 22, 739
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