文献

J-GLOBAL ID：200902290317363940   整理番号：08A0263427

P-CVD法で形成したDLC膜の特性に及ぼす熱処理の影響

著者 (3件)： 伊藤誉 (関西大 大学院工学研究科) ,  長井達哉 (関西大 大学院工学研究科) ,  杉本隆史 (関西大 化学生命工)
資料名： 熱処理  (Journal of the Japan Society for Heat Treatment)
巻： 48  号： 1  ページ： 26-31  発行年： 2008年02月28日 
JST資料番号： G0963A  ISSN： 0288-0490  CODEN： NESHDF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC(Diamond Like Carbon)は,膜の構成成分Cの結合様式によるsp²構成比とsp³構成比および水素含有量によって種々の特性をもつ。熱処理によって,これら構成成分の割合や構造の変化から膜密度,硬さ,ヤング率の制御が可能になれば,用途により最適な特性のDLCを金属材料基板に成膜することができる。そこで成膜後,473Kから773Kで真空排気しながら焼鈍を施し,DLC膜の特性に及ぼす熱処理の影響を検討した。成膜後523~623Kの熱処理を施すと残留応力は減少したが,DLC表面の平滑さが損なわれることなく膜密度と硬さが上昇した。熱処理を施した試料のラマンスペクトルの変化より,DLC中のsp³構成率が減少し,また水素含有率は変化しなかったことから,sp²構成率が増加してグラファイト化が進行することがわかった。しかし熱処理後のsp²構成率が45%以下であれば,クラスターサイズが大きくなることによって,DLC膜の密度,硬さが増加すると考えられる。(著者抄録)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  プラズマCVD ,  *後熱処理 ,  *真空処理 ,  残留応力 ,  表面粗さ ,  相対密度 ,  硬度 ,  Ramanスペクトル ,  含有量 ,  水素 ,  温度依存性

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (10件)：

• 鈴木秀人. 事例で学ぶDLC成膜技術. 2003
• JAKOB, W. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 1771
• ROBERTSON, J. Philos. Mag. B. 1997, 76, 334
• FERRARI, A. C. Phys. Rev., B. 2000, B61, 14095
• CASIRAGHI, C. Phys. Rev., B. 2005, B72, 085401

タイトルに関連する用語 (3件)： CVD法 ,  DLC膜 ,  熱処理